产品特征

采用高精度伺服电机高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的光刻胶均匀的涂佈，独立抽风，控制腔体气流高转速、高精度、转速稳定、涂层均匀、操作便捷可增加洗边和背洗功能。