适用范围

晶圆抛光后的清洗和干燥

工艺

上料→超声清洗→超声清洗→喷淋清洗→超声漂洗→超声漂洗→超声漂洗→超声漂洗→纯水慢拉→热风干燥→热风干燥→下料

产品特征

• 采用伺服电机+丝杆传动，保证传动平稳，减少碎片

• 法兰式振板和槽体电解抛光工艺，保证槽体和工件的洁净度

• 氮气干燥工艺，保证工件干燥效果和减少表面氧化

• 高纯水漂洗工艺，保证工件能清干净